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超純水制備系統

超純水制備系統是一種專門為滿足企業對水質極高純凈度需求而設計的高度精密水處理裝置。在眾多精密制造行業的產品生產過程中,即使是極微量的離子污染物或顆粒物,都會對產品的質量和性能產生嚴重影響,因此對水質的要求極為嚴苛,尤其是泛半導體行業,通常需要達到電阻率大于18 MΩ·cm的超純水平。超純水制備系統廣泛應用于半導體、光伏、醫療、食品等各個領域。

超純水制備系統通常包含以下幾個關鍵步驟:


預處理階段:去除原水中的懸浮固體、顆粒物、有機物及微生物等雜質,常用設備有多介質過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器等。

反滲透(RO)階段:通過反滲透膜將大部分溶解性鹽分、有機物和微生物等進一步去除,得到初級純水。

離子交換(IX)階段:采用陰陽離子交換樹脂去除反滲透后的水中殘留的離子污染物。

電去離子(EDI)階段:這是一種連續電除鹽技術,通過電場作用和離子交換樹脂的作用,實現離子的高效去除,從而提高水質至更高純度。

殺菌及有機物脫除(UV/TOC):消毒/用于有效減少有機物(通常稱為總有機碳,TOC)含量 。

氣體脫除(MDG):利用擴散的原理將液體中的氣體,如二氧化碳、氧氣、氨氮去除的膜分離產品。

拋光混床(MB)階段:作為最終精處理步驟,混合型離子交換柱能有效去除痕量離子,保證出水達到超純水標準。

終端過濾(UF/PES):使用超濾或聚醚砜等微孔濾膜進一步過濾掉可能存在的細菌、病毒及膠體物質,確保最終水質符合半導體生產所需的標準。


通過以上一系列嚴謹且復雜的處理工藝,超純水制備系統得以產出適用于各類企業精密制造流程所需的高品質超純水。同時,此類系統需配備完善的水質監測系統,實時監控并調整水質參數,確保持續穩定地供應超純水。

技術優勢

高純度:能夠滿足企業生產過程中的對水質苛刻標準;

穩定性強:采用可靠的工藝設備和技術,能長時間持續保障穩定供應;

先進的處理技術:擁有強大的技術團隊支持,融匯國內外的先進超純水技術,協同創新,實現高效凈化;

低能耗:優化的系統設計和節能型設備的選用,減少運行成本;

適應性好:根據不同企業的生產需求和水質條件進行靈活的調整和定制化服務,適應多種應用場景;

自動化程度高:具備完善的自動控制和監測系統,實現智能化運行。

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